Oerlikon Leybold渦輪分子真空泵TURBOVAC 350型

Oerlikon Leybold 渦輪分子真空泵

機械、混合和磁懸浮高真空泵

渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或超高真空的應用，例如核聚變的研究與開發，或涂層工業和分析儀器等工業領域。

 

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉的渦輪機，其中渦輪機的級裝有多個轉子葉片。位于旋轉轉子葉片之間的是固定的定子盤，其葉片以相反的方向排列。

 

通過從旋轉轉子葉片到氣體分子的動量傳遞，氣體分子開始非定向熱運動轉變為從泵的入口法蘭沿軸向前真空法蘭的方向運動。

在分子流動范圍內（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為零點幾毫米）。相應地，分子主要與光學致密的轉子葉片碰撞，從而產生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內（即壓力超過 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下泵送氣體。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC i

模塊化渦輪分子真空泵系列，抽速從 90 到 1450 L/s。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 90 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 83  L/s

抽速： 90  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 350 i/iX

5 種變體

抽速 （Ar）： 260  L/s

抽速： 360  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 450 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 400  L/s

抽速： 440  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 250 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 210  L/s

抽速： 250  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 850 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 655  L/s

抽速： 850  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 450 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 950 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 840  L/s

抽速： 925  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 850 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 1450 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1280  L/s

抽速： 1390  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 1350 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1150  L/s

抽速： 1350  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 90 iR

3 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 950 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 350 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 250 iR

2 種變體