Piezoconcept 三軸納米定位器LFHS3.50

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產品簡介:

三軸超高速納米精密定位器，具有66 x 66mm毫米的大孔徑，兩軸的共振頻率均高于2千赫。
可與粗定位微載物臺結合使用。

包含控制器(USB可選)。

z規格:

運動范圍（um）:50

分辨率（nm）:0.05

噪聲基底（nm典型值）:0.005

重復性（nm）:0.1

線性化（典型值）:0.02%

諧振頻率（Hz）:1500

剛度（N/um）:3

XY規格

運動范圍（um）50

分辨率（nm）:0.005

噪聲基底（nm典型）:0.01

重復性（nm）:0.02

線性化:3000/2000

剛度XYZ（N/um）:4/3

一般規格

傳感器尺寸Wx L x H（mm）:140x121x33.6

材料電纜長度（m）:2

控制器最大負載*（kg）:詳情請聯系漢達森王春風

水平使用垂直使用:0.5

Piezoconcept 三軸納米定位器LFHS3.50