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        德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

            

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        品牌mlase 有效期至長期有效 最后更新2023-02-27 16:20
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        德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

        德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

         

        MLase MLI 系列由具有直接波長的準分子激光器組成,適用于工業應用。當然,我們可以調整我們的基本設備以滿足您的個性化需求。

        MLase 的現代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。

        MLase是市場上使用壽命最長、可靠性最高、運營成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩定性使它們非常適合要求苛刻的應用。

        MLase的LC準分子激光系統還能夠進行主動水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無需純凈水),以實現穩定的連續運行。

         

        ?

         

        常用型號:

        MLI-200

        MLI-500

        MLI-1000

        參數介紹:

        參數

        ArF

        ArF

        ArF

        KrF

        KrF

        KrF

        波長(納米)

        193

        193

        193

        248

        248

        248

        脈沖重復頻率(赫茲)

        200

        500

        1000

        200

        500

        1000

        穩定的脈沖能量 (mJ)

        6

        6

        6

        10

        10

        10

        穩定平均功率 (W)

        1,2

        3,0

        6,0

        2,0

        5,0

        10

        脈沖穩定性(標準偏差%)

        2

        2

        2

        2

        2

        2

        光束寬度(FWHM,VxHmm)

        6×3

        6×3

        6×3

        6×3

        6×3

        6×3

        光束發散(FWHM,VxHmm)

        2×1

        2×1

        2×1

        2×1

        2×1

        2×1

        脈沖長度

        5-10

        5-10

        5-10

        5-15

        5-15

        5-15

        張曼麗
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        德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

         

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