Busch螺桿真空泵COBRA BC系列簡介

擁有成本低，維護少，保養間隔長，正常運行時間長，直接水冷卻等優點；

結構緊湊；密閉式設計；適用于輕型到中型半導體應用的理想解決方案；

先進的螺桿設計，鐘形懸臂結構，榮獲專利的自平衡螺桿，出色的運行品質，集成羅茨泵，非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術、物理氣相沉積以及快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等應用；

 

螺桿真空泵

自調節冷卻裝置

Busch型號

Busch真空泵RA0100F503S/N:D15450588

Busch泵R5 RA 0160-0302D

Busch螺桿真空泵COBRA BC 1000 F

Busch油分配器0531-000-002

Busch.0524108652

Busch真空泵R5A0040E

Busch真空泵SV1025C000
 

工作原理

在 干式 螺桿真空泵中， 兩個螺桿轉子 沿著相反方向旋轉。泵送的介質被吸入泵缸和螺桿腔室之間

經壓縮后輸送至出口。在此過程中，螺桿轉子不會相互接觸，也不與泵腔接觸。

可通過 風冷或水冷 實現冷卻。

 

我們的螺桿真空泵產品組合

COBRA Industry  用于工業應用的干式螺桿真空泵

COBRA Semicon  用于中高真空應用的干式螺桿真空泵

 

用于化工與制藥工藝的干式真空技術

真空在化工和制藥工藝中發揮著至關重要的作用。無論是在真空輸送、惰化、蒸餾還是干燥過程，對真空的利用無處不在，這可以確保加工過程更快更安全也更經濟，或者純粹只是為了確保相關過程得以實現。

產生真空的各種技術是通用的。數十年來，液環真空泵和蒸汽噴射器一直是產生真空的強大工具。

但是，就像使用循環油潤滑的旋片真空泵一樣，它們有一個缺點：它們需要工作液，而工作液會與工藝氣體接觸。

 

創新：干式螺桿真空泵

在 20 世紀 90 年代中期，Busch 普旭將第一臺螺桿真空泵投入市場，即 COBRA。與之前使用的液環真空泵相比，主要區別在于 COBRA 螺桿真空泵無需工作液來壓縮工藝氣體。“干式”螺桿真空泵（圖 1）的名字就是由此而來?，F在，干式螺桿真空技術在化工和制藥行業的應用也非常廣泛。

 

工作原理

在螺桿真空泵中，兩個互鎖的螺桿形轉子沿著相反方向旋轉（圖 2）。將吸入的工藝氣體收集在泵缸和螺桿之間的腔室中，經壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中，螺桿轉子不相互接觸，也不與泵缸接觸。此工作原理得益于精良的制造工藝和運轉部件之間的最小間隙，能夠確保最小極限壓力（絕對壓力最高 0.01 毫巴）。

 

COBRA 螺桿真空泵與冷卻系統同時運行，它可以確保整個泵體內熱量均勻分配，熱效率和穩定性更高。這樣，選擇溫度時就可以確保其不至于過低而導致工藝氣體凝結，也不至于過高而發生與溫度相關的潛在問題，如氣體沉積或自燃。

不使用工作液，在工藝室壓縮時就不會發生污染或化學反應。