德國PI-P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀參數

皮米級精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
 

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§ 用于AFM / SPM的高線性掃描儀

§ 分辨率高達20皮米，滯后小于1 納米

§ 閉環驅動概念帶來zui高帶寬

§ 用于生物技術/納米技術的zui高精度操 縱工具

§ 諧振頻率為4.0千赫茲（X、Y）、11 千 赫茲 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

Physik Instrumente應用領域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯運動實現高動態多軸操作

在并聯多軸系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的設計，可實現快速、動 態和精密的運動。

規格 P-313PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀 單位

運動和定位

主動軸  X、Y、Z   

X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米

Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

X、Y向上的分辨率 0.02 納米

Z向上的分辨率 0.14 納米

機械特性

X、Y向上的諧振頻率 4 千赫茲

Z向上的諧振頻率 11 千赫茲

運動方向上的推/拉力 ±10 牛

負載容量 ±10 牛

其他 工作溫度范圍 5 到 40 °C

質量 80 克

電纜長度 1.5 米

電壓連接 Sub-D 24W7（公頭）

推薦電控 E-536

Physik Instrumente訂購信息

LEMO連接器

P-313.30D 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環，Sub-D連接器