PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動態納米定位系統

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P-363

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環掃描儀

§ 用于生物/納米技術的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實現最高精度

§ 并聯測量技術可實現導向誤差的自動化 補償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應用領域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動 導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可 實現極低的排氣率。

訂購信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

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