*N-865 PI微型定位六足位移臺

PI公司介紹：

PI位于德國，是一家典型的高科技中型企業。公司的規模使其能迅速靈活地響應客戶的要求，同時還可滿足已建立并經測試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產品的高質量和客戶關系的整體可靠性而聞名。

由于PI致力于在范圍內將其廣泛的技術型譜用于精密定位，PI (Physik Instrumente)已成為OEM業務中的強大合作伙伴。這向客戶保證了PI將始終為他們的應用選擇解決方案，且無任何限制。

PiezoWalk®技術：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術優勢結合在一起。PiezoWalk®步進驅動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動原理，其還能實現理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅動器原理，PiezoWalk®步進驅動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預載可確保步進驅動器自鎖。因此，步進驅動器靜止狀態下將保持位置，關機時可實現機械穩定（無伺服抖動）。靜止狀態自鎖，無能量消耗，無熱量產生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發，在對測量數據進行相應處理后，可實現遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。力導向滾動體保持架防止線性導向蠕變。

有效zhuan li 

在壓電陶瓷步進驅動器（NEXACT®、NEXLINE®）技術領域，PI擁有以下zhua li或zhuan li申請：

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

應用領域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩定性光學或機械部件、半導體行業中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內的應用、真空或無磁性環境中的應用。.

規格

技術參數為 20±3 °C下的數值。

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* 單個坐標（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依賴。本表中各軸對應的數值為其大行程，此時其他軸和樞軸點位于參考位置。

訂購信息

N-865.160

SpaceFAB，NEXACT®壓電陶瓷步進驅動器，X和Y向上的行程為±6.5毫米，Z向上的行程為±5毫米 ，θx和θy向上的旋轉范圍為±7度，θz，θz向上的旋轉范圍為±8度，Z向上的負載能力為15牛