德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數

PI (Physik Instrumente) 集團

PI在精密定位領域的卓越技術，新的驅動概念、產品和系統解決方案在過去幾年中為PI集團帶來了持續不斷的市場份額增長和健康的公司發展。高度垂直化的制造使

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PI (Physik Instrumente)簡介

PI集團全球共有六個生產點，四家位于德國，兩家位于海外，全球超過1000位員工，關鍵市場中有15家子公司，超過284項專利和專利申請，40多年的壓電陶瓷技術經驗。

PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移臺

--------具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅動器

1.      采用PIOne增量編碼器實現直接測量，分辨率為0.5納米

2.      最小位移達1納米

3.      行程為6.5毫米

4.      負載能力達25牛

5.      可以直接安裝在N-565線性定位器上

NEXACT®參考級線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動器的線性定位器可實現較長行程范圍內的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實現最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實現機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術優勢結合在一起。PiezoWalk®步進驅動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動原理，其還能實現理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅動器原理，PiezoWalk®步進驅動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預載可確保步進驅動器自鎖。因此，步進驅動器靜止狀態下將保持位置，關機時可實現機械穩定（無伺服抖動）。靜止狀態自鎖，無能量消耗，無熱量產生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發，在對測量數據進行相應處理后，可實現遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導向防止滾柱軸承發生蠕變。

應用領域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩定性光學或機械部件、半導體行業中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內的應用、真空或無磁性環境中的應用。

德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數 

 PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移臺

規格參數

主動軸：Z

行程：6.5毫米

系統分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線性編碼器：增量，光學，直 接測量

傳感器分辨率: 0.5納米

最小位移:1納米

速度，閉環:2.5毫米/秒

單向重復精度:6納米

雙向重復性:7納米

Z向運動時X向上的線性串擾:1.8微米

Z向運動時Y向上的線性串擾:2微米

Z向運動時θX向上的轉動串擾:25微弧度

Z向運動時θY向上的轉動串擾:41微弧度

Z向運動時θZ向上的轉動串擾:34微弧度

最大負載容量:25牛

電機類型: NEXACT壓電陶瓷步進驅動器

驅動力:20牛

保持力（被動）:25牛

工作電壓:-10到45伏

工作溫度范圍: 10至50 °C

質量: 920克

材料: 鋁，陽極氧化致黑

電纜長度:3米

連接器: HD Sub-D 15針（公頭）

傳感器連接器: Sub-D 15（母頭）

推薦電控: E-861.1A1

訂購信息

N-765·060 精密Z向位移臺，行程為6.5毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，

推/拉力為25牛，尺寸為65 X 110x56毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器.

德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數