Brooks Instrument質量流量控制器4850型

Brooks Instrument質量流量控制器4850型

 

  Brooks Instrument精密流體測量和控制技術的制造商，產品主要應用在在重工業。在石油和天然氣精煉中?；瘜W和石化研究。制藥和生物制藥生產。太陽能電池、LED、薄膜、光纖和半導體制造。

 

Brooks Instrument 4850型質量流量控制器優勢：

   Brooks Instrument 4800系列質量流量控制器和儀表基于 MEMS 的熱傳感器，結合專有的 PID 算法來優化控制閥響應，Brooks Instrument  4800 系列控制器能夠快速匹配實際質量流量以適應任何變化。設定點?？蛇x的本地操作員界面 (LOI) 提供了方便的用戶界面來查看、控制和配置設備，無需遠程輔助電子設備。

快速響應時間確保工藝配方更改過程中的快速步驟

適合 OEM：緊湊的尺寸便于集成到狹小的機器空間并加快安裝速度

可選的本地操作員界面 (LOI) 是本地指示、設定點控制和設備配置的交鑰匙解決方案；無需遠程輔助電子設備

多種通信選項可輕松滿足用戶需求

 

Brooks Instrument 4850型質量流量控制器特征：

流量響應時間（穩定時間）<0.75 秒

創新的 MEMS 傳感器和專有的 PID 算法

緊湊的尺寸不到典型熱 MFC 尺寸的一半：1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)

可選的本地操作員界面 (LOI) 簡化了設置和操作；免費下載LabVIEW VI，用于監控和歸零設備

通過 RS-232 的數字能力

 

Brooks Instrument 4850型質量流量控制器應用：

熱處理、切割/焊接和其他熱處理工藝

太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統

用于測量和控制試劑、校準和樣氣流量的分析設備

 

Brooks Instrument 4850型質量流量控制器技術規格：

流量范圍（滿量程）：50 sccm - 40 slpm 

準確性：3.0% 滿額，1.0% FS（可選）

重復性：0.15% FS

響應時間：常閉閥：300 ms - <1 sec

常閉閥：300 ms - <1 sec

壓力：150 磅/平方英寸/10 巴

模擬通信：0-5 伏直流，4-20 毫安

數字通信：RS232

控制范圍：2-100%

溫度范圍：5-50攝氏度

泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He

密封材料：彈性體密封

接液材料：316 不銹鋼，哈氏合金 C-22，1707 PH，43055

電源/消耗：+15 Vdc + 10% 或 +24 Vdc + 10%

 

Brooks Instrument流量計常見型號：

SLA5853S3AAB2C2A1

SLAMF50S1BAF1G2A2

SLAMF50S1BAB1G2A2

SLAMF50S1BDD1G2A2

1350GAH3ABJT1AAA

SLA5850SB1AB1B2A1

 

Brooks Instrument質量流量控制器4850型